位移测量仪-上海昊量光电设备有限公司

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专用实验设备

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皮米精度位移测量仪
昊量光电推出的皮米精度位移测量仪quDIS是低至纳米范围位移测量的理想仪器，达到了*50pm的重复精度。quDIS支持三个测量通道，使其可以适用于任意多轴测量应用。皮米精度位置测量仪同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的

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