红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）-上海昊量光电设备有限公司

红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）

简略描写：红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）：IRLabs的IREM-IV红外显微镜系统使您能够更快、更准确、更可靠地进行半导体故障分析和调试。

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更新换代日期：2024-06-12

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红外放射性物质显微影像系统性（微观粒子温度表规划影像）

IRLabs的IREM-IV红外显微镜系统使您能够更快、更准确、更可靠地进行半导体故障分析和调试。

IREM-IV相机提供超低噪声扩展波长PEM成像，在工作电压为400 mV的10 nm设备上具有经验证的发射成像灵敏度。自行设计和制造的相机，用于低维护操作，，包括6位透镜转盘和超过20小时的LN2持续制冷时间。光学扩展端口为外部激光扫描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升级路径。

3.3NA SIL物镜是定制设计的透镜家族中的新产品，经过优化，可在整个视场上提供衍射限制成像。自对准SIL可自动调平，以符合被测设备的局部轮廓。弯曲设计提供了低的接触力，因此适用于成像安装器件或裸晶圆。

一体化边角调节器器，检测元电子元件封装表明边角，相对高度分别率依赖于10 um。应用与精密铸造x-y-z系统一体化的集中度台，行之间检测和补尝从旋转边角或元电子元件封装回弯呈现的局部性表明集中度。跟自指向SIL相根据，以实现了平安稳定的SIL影像。

扩展波长PEM成像通常是热背景噪声受限的。IREM-IV提供两个内部冷却的滤光轮，因此光谱滤光器或背景限制孔径适用于任何测量场景。

红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）指标参数：

照相机   田径运动系统的

● 1016×1016 液氮制冷MCT阵列 ; ● 25nm辩认率

● 像元尺寸 18um   ● 100mm运作范围内（X-Y-Z）

● 400-2500nm 光谱响应范围     ● 阻尼震动分隔

● 6个位置自动物镜转盘   ● 电动样品倾斜选项

● 6个位置制冷滤光片/孔径转轮

● 超过20h液氮保持日子

设备厚度

● 显微镜 810mm x 876mm x 813mm， 160kg

● 把控系统的 610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物镜界面：

基准图例

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