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M-cat磁场均匀性检测系统
昊量光电新推出M-cat 电磁波匀称性论文在线检测化,可以快速精准的对溅射装置磁控管和磁棒的测量质量精准控制。旋转磁控管和可调磁棒可以在浮法夹层玻璃镀膜的溅射过程中进行精确测量和分析及可靠地识别有疵点的磁控管和磁棒。可以提高层厚的均匀性并且可以避免溅射。
M-cat 磁感线匀称性检则设备重点简单介绍:
在磨砂玻璃或硅上溅射需要高质量标准。即使积累层的厚度的微小波动也会显着影响层的特性。用于窗户和立面结构的浮法夹丝玻璃在颜色和透射特性方面可能会发生某些变化。作为太阳能电池生产基础的玻璃涂层厚度的变化会导致电性能的不对称。
溅射的固体的分压或交变电场需要改造层的特征参数。是由于的固体材质的變化一样的会反应层的材质,从而对待层层厚的设定,仅需要技术应用交变电场的操作和改造。M-cat 磁场均匀性检测系统以高精度表征管状磁控管,使操作员能够控制溅射装置中的磁性元件。除了对磁体配置单进行精确测量和分析外,M-cat磁场均匀性检测系统还为可调节磁控管提供帮助,为确保高可靠性,确定了磁控管的几何形状(偏转)。
使用M-cat 磁场均匀性检测系统可加入:
流程稳定可信性分析,正因为是能够 对新磁控管参与采购测试,以及是能够 更早、更稳定可信地测试到有缺陷的磁控管。
层机的薄厚的不规则性,是由于行以实时控制行为放置也可以调节磁控管,一些行更加容易地结合应该的磁控管。
靶材的选择使用时间,因此可避开价格稠密型靶材的溅射。
M-cat 磁场均匀性检测系统突出亮点:
获利完整详细的磁体面部轮廓
可保证用在圆型金属电极和扁长金属电极磁控管的系統
就能够在共有的研发历程中方案该系统化
可调准磁控管调准捕助模块
高用于性
MHLS-平滑霍尔调节器器主要的枝术招生指标:
在 1 7分钟内完整检测的
场历程的图片说明
检则蕞小和蕞大电场挠度
以 CSV 各式存储器和另存单独某个在线测量系列产品的功能模块
可不可以記錄方向规格(长度、偏转)
调节可调节磁控管的配套功能表
时长为 0.4 - 4.0m
磁感线配资:33 个通畅(X、Y、Z)+/- 1%
磁控管的平面图形形状图片大全(带磁功能键器件的位子):+/- 0.1mm
任务的代数的形状(直径约、偏转):+/- 0.1mm
还具有人的一生时期工作、各样视图和设备高级设置的小软件
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