品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 生物产业,电子 | 极限空间分辨率 | <1um |
高分辨率测试靶
负片的图案设计构思 基低为10x10mm²,设置紧凑型,尺寸大小不安全性分析性保持良好 利用高精密度电子设备束光刻技术设备做 的结构尽寸低至100nm 区分率能够达到到3300 lp/mm |
昊量微电子器件发行的 Test chart 标准单位尺系列表是由高导致精确度的电子器件束光刻开发而成,等等花黑白黑白动物花纹图案蚀刻在体现了广谱电子散射(DUV-VIS-NIR)的,肌底为一两个10×10 mm²石英砂衬底上。在衬底上释放了遮暇溶解度的铬层,此后采用烧蚀铬层,会让架构宽度能够 变低到100奈米的同一时间以确保了设计构思的导致精确度,类似这些习惯也以确保了架构表面的比较好宽度公差和垂线度。其架构为负片花黑白黑白动物花纹图案,且每项靶上的负片花黑白黑白动物花纹图案能架构明亮,而蓝本被铬层阻挠。同一时间为配各大体视显微镜物镜使用的,有很多种花黑白黑白动物花纹图案能够 选取,且各个花黑白黑白动物花纹图案都能够 有两个板材的厚度0.17mm毫米的所覆盖安全玻璃的固件版本用于。 |
高分辨率显微镜标准测试片规范载玻片靶 TC-RT01——7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes |
利用低分别率的RT01,能否是非常不累、飞速地在传导光下确实对方的分别率控制。的水平和立式位置合适一共 59 条线型,覆盖了误差从每mm 7.5条线对 到 3300 条线对。 而且架构的轻松编排和公测架构尺寸的客观事物读入保持了客观事物的清理。然而,还有9个直徑在4.0-0.25 um直接的针孔,就可以变现微成相光纤激光切割机的零件的具体表现 |
simens星状靶 TC-RT02 —— Resolution testchart with very high precision |
该标准的尺由 5 颗simens星组合成, 其优势是星服务中心的扇形位置研发的参数低至为 150nm。该测量方向板是比较适合于选定具备有是高值光圈的电子显微镜物镜的鉴别率 |
载玻片观察板TC-CB50 —— CheckBoard of 50 x 50 um² squares |
比较高的分数辨率体视显微镜查检板的特别企业内部不同圆形形均为 50 x 50 多多平方米米微米换算,整体的规格尺寸为 9.0 x 9.0 多多平方米米mm。该靶片极其比较合适于测试方法图文偏斜和曲率,及其来确定因此垂线和锐边引起的图文效率。 |
载玻片针孔靶TC-ST01 —— Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm |
该的基准尺上带来了了口径0.18um到4um的针孔。不同梯阶式针孔间具够的暗区,使待测透镜的大部分视场变暗。该的基准尺特殊选采用电子显微镜透镜的星形测试英文和电子光学显影液 |
好成绩辨率高倍显微镜靶专用规格参数 |
Pattern Tolerance: | 100nm/cm |
光溶解度 OD: | OD>8 @ 400nm, 6 @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm |
光谱仪领域: | 200 - 2000nm |
肌底: | Fused Silica w/Chrome deposit |
尺寸规格 (mm): | 10 x 10 x 1 |
结构 : | Stainless Steel, 75 x 25 x 1.5mm, microscope slide format |