品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 电子 | 主要特性 | 兼容i、h、g线光刻胶 |
DMD无掩膜光刻机
DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。依托于改善后的规则投射仪系统,投射仪开立有μm分别率的图文,无掩膜光刻机SmartPrint不须一些进两步方法流程,就能直接性从数字9掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要的采用是微气固两相流,微生物系统和微网上等各个领域光刻表面层微纳图形。
DMD无掩膜光刻机重要性能指标:
兼容i、h、g线光刻胶
SmartPrint-UV配置了385 nm LED源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500国产
选应用于各类各种的基本材料
大家的物镜依据历经精心谋划选取,有着较长的工做高度(可高达3多厘米),使SP-UV变成了这种非接触到式水平,那么兼容料框准板材(非平的,灵活机动的,厚的)。
可以调整直写区域和辩认率——用户可获得四种不同的直写分辨率
最优直写辨别率1.5um
兼容一点尺码的土样,较大 5m24英寸
排列方法可以直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用
质量分数小,性价变高
DMD无掩膜光刻机应运区域:
光元器 微流控 微手机
DMD无掩膜光刻机的指标基本参数: