的产品款型：IMOS
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子 | 纳米模式下的Z轴分辨率 | 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜) |
纳米表面轮廓仪
IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征，在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
IMOS光学薄膜薄膜从从表明轮廓线条图线仪在非打交道式光学薄膜薄膜从从表明轮廓线条图线各方面供应了强硬的公用性。会有该软件，它可能便于更快捷地自动自动检测各种各样的从从表明类，分为圆滑、模糊、平整、偏移和阶梯性。全部的自动自动检测也是高质量的，短时间的，不想要比较特殊的印刷品筹备 。微米从从表明轮廓线条图线仪软件的核心内容是有些相干光抵触技能工艺，它供应亚微米高精度自动自动检测更广泛性的从从表明比相关服务业能用技能工艺。IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值，如平直，粗糙度，波浪形，台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头，可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从*自动化到*自动化的编码行程。
纳米表面轮廓仪其主要的特点:
- 纳米级机制下的Z轴识别率: ~ 30pm微跌宕模式，(选择原子核级均匀镜) ~ 0.3um微地势模式切换下- 外貌紧凑型轿车;- 更快的加载;- 抗其他振动模式;- 侧量时会机械自动化地步高;- 特别的的客户合理的接面;- 优质化量的图案用户界面，以本职工作与多计划方案三维图数字代表的測量结局;- 普遍的几率性硬件配置的高倍显微镜，以各式价值形式-逻辑思维的量测外壁;- 是可以操作在2种模式切换:微浮雕贴图壁画和纳米技术浮雕贴图壁画;- *的文件存储软件系统的和精确测量效果的软件系统的化。 在硅基材上的Pd贴膜，相对特别100nm硅尖晶石的表面的阶地，相对特别为0.314nm在硅基材上的Pd贴膜，相对特别100nm 微波动形式 下的估测但是硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm
认证口径，标称高度值为101nm±3%
IMOS纳米表面轮廓仪组成
光电探测器*
矩形ccd-1392*1040 px
光源 *
LED (λeff = 630 nm)
显微物镜*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不变
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器
CCD-相机抓帧器
位移台控制器
设备控制器
软件
Software for working with IMOS
System / MS Windows
微地貌模式下的测量结果
认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm
衍射元件, 厚 3,7 μm
衍射元件, 厚 3,7 μm
技术指标
测量区域
0,4x0,3 mm2 (for 20X)
像素尺寸
0,3 μm (for 20X)
横向分辨率
Not worse 1 μm
测量模式
微地貌模式
微起伏模式
Z轴分辨率
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
测量范围
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm
测量速度
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s
上海市徐汇区虹梅路2007号6号楼3楼
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