<白光干涉仪Xper WLI-上海昊量光电设备有限公司
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白光干涉仪

概诉描叙:Xper WLI 是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。白光干涉仪

  • 类型号查询:Xper WLI
  • 生产厂商质地:代理商
  • 更换时间段:2021-06-02
  • 访  问  量:1592
详细的的介绍
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,生物产业,电子,航天,综合

白光干涉仪

Xper WLI 不是款使用在对一些高精密机械集成电路芯片及装修材料界面开展亚nm级在线判断的加测判断测量仪器。它是以白灯干扰高技术为关键技术、运用高精密机械Z向打印机打印机扫描模组、3D 模型算法流程图等对集成电路芯片界面开展非触及式打印机打印机扫描并制定界面3D图形,采用系统软文软文对集成电路芯片界面3D图形开展数据源加工与定量分析,并了解呈现集成电路芯片界面質量的2D、3D主要参数,以此控制集成电路芯片界面形貌3D在线判断的光学元件加测判断测量仪器。 

优势:

价格优势:市场上性价比的白光干涉仪

非常简单易用:只需将备样放到于备样格斗台,既能间接实行预估;可在线检测非碰到式非平缓印刷品:因光电水平局部图线条在线检测法也是种非碰到式水平,可快些在线检测弯折变形和另外非水平面外壁上。还快些地在线检测曲率的外壁上滑润度,纹理素材和粗糙,度。除此外,做为一些非碰到式办法光电水平局部图线条仪不易像测试探针式局部图线条仪这种损害挺括的塑料薄膜。就不需要变更消耗品:只需要这个LED光照,就不需要另一配件批发变更;可视化数据3D系统:Xper WLI外部轮廓仪具有着坚强的工作pcapp,pcapp除也包括外表面粗燥度,模样和阶梯超高的量测外,还就能够随机层面看移動印刷品量测立体图形图片,多层面看进行分析印刷品图像文件。 

应用领域:

nm大小的壁厚和面部轮廓测量WLI和PSI形式转成企业用:原材料和线条的检测供试品类型的:半导体设备晶圆,纳米技术元器,生物学板材,MEMS:光电子元器件机诫软件系统,lED荧光整流二极管

规格

远离:白光灯约束远离适用范围:单单从表面上三维图剖面量测,单单从表面上模糊度量测Z轴鉴别率:1.75nm CCD 鉴别率:2464*2056扫码使用范围:30 μm物镜:10X, 20X, 50X, 100X照明系统:LEDPSI状态滤光片引擎:532,633nm(可見光范围图:400-750nm) 系统软件功能键:自动式工作环境设立之后正确清理:纹理正确清理/ z轴调整系数设定/偏斜调整,X / Y轴面部轮廓生成 

成像案例:

半导体器件

牙齿表面分析

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