点衍射干涉仪的精度检验方法

点衍射涉及仪的精确考验的办法

点衍射干扰仪（Point Diffraction Interferometer，PDI）一种种应用以衍射干扰方式的光学元件校正器材。它运用脉冲光束孔眼后生产近乎期望的点黑与白对材料从界面使用校正，能够 推动对材料形状图片大全、从界面粗燥度、折射率率等性能的高误差校正。点衍射干扰仪不要求规范标准基准件，能够 用以至关高误差面型的检查，一种种至关关键性的高误差校正器材。

1.1测试图片激光切割光路

检查模式包括由D7点衍射涉及仪主机箱，准直器，5mm直径铝镜，光电电商平台等包含。

1.2 測試环镜

室温： 21℃±1℃；室内湿度： 30%-70%

1.3 绝 对gps精度检验（Accuracy）

 绝 对gps精度的的检测主要包括波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的确定手段，WRMSD是干涉现象仪不稳性和估测很好的性的认真规范标准。它定意为几乎大部分估测波前不一致性的均方差添加2X均方差的估测集，并定意为几乎大部分估测波前的平衡值的综合管理参看。

测试方法过程：1） 考试部件从0°逐渐开始绕光轴以45°步长扭动8次实施检测的。扭动是必备的，以排查检测的软件安装激发的各种扭动不正确称像差。

2） 测试方法局部从22.5°逐渐绕光轴以45°步长360度旋转8次确定量测。

3） 在未高斯模糊的情形下加工处理约束图后，从0°开启了的八个波后退行分別值换算，得见分別值波前WF0AVG_0，然后呢从22.5°开启了的八个波前也通过分別值换算，得见分別值波前WF0AVG_225。

4） 计算的WF0AVG_0和WF0AVG_225的差别的，得到了绝 对精准度。

沈阳昊量光学装置有限责任品牌销售人员的点衍射干扰仪，型号D7在客户现场进行了干涉仪精度的检测，实验测得该干涉仪的精度为0.707nm RMS 。

图1 坚决导致精度检查测量的结果

1.4 反复精准度探测（Repeatability）

连续要求的判断利用波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的运算的方法。对以下的图2的波后退行连续性測量，总计測量30组，每组測量5次。摘取1,3,5,7…29奇数组的参数使用均衡，取得均衡波前WF0AVG_29，摘取2,4,6,8…30偶数组的参数使用均衡，取得均衡波前WF0AVG_30。运算WF0AVG_0和WF0AVG_225的距离，取得连续要求。

重庆昊量光电产品设配是有限的装修我司经销商的爱沙尼亚Difrotec装修我司的点衍射干涉仪仪的重复精度，经过测量计算，重复精度为：0.25nm RMS(λ/2500)，如下图3。

图2 铝鏡面型3D图

图3 多次高精度检测工具后果

1.5 约束仪模式显卡配置

D7：点衍射干涉现象仪主机设备；DA1：150mm/230mm准直器

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