品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 医疗卫生,生物产业,电子,交通,航天 |
多光的波长椭偏仪(仅需23万!)
AUTFS1椭偏仪是采取圆柱体偏振的方式对供试品做光学仪器定性分析。在该装置中由偏振态有器(PSG)射出已发现偏振态的光斜入喷到供试品上,但是偏振态检查测量工具器(PSD)检查测量工具条件折射光的偏振模式。以下的图如图所示由原辅料使得的火箭发射光偏振态的变现就可以由P偏振光和S偏振光的射线层率的测值决定性。测值为复数,有以下几点图图示: 至少tan(Y)定意了P偏振光和S偏振光射线层率测值的的大小,D定意了P偏振光和S偏振光的相位差。
随着该方式方法衡量的不是个相对分子质量,由此对光的承载力的发生变化,和图纸瑕疵出现的散射不太强烈,有时候在一个光波波长衡量三个频率特性可得到三个常量举例:透明膜宽度和突显出岁月率,还有就是D对透明膜宽度尤其太强烈,能够使透明膜宽度衡量gps精度到0埃。 沪昊量光电子创立的多光波主波长椭偏仪采用了长寿命短的LEDLED光源,可对应作为465nm、525nm、580nm和635nm每种不同的光波主波长,并施用无手机移动机械部件的圆形偏振测试器,紧密的系统性作为迅猛正规的塑料膜侧量。会通过1秒的估测会精确度高的估测0-1000nm的绝大部分数合理胶片的的厚度。并会得到 n和k等光学玻璃常量。
对比于单可见光可见光激发光谱图椭偏仪,多可见光可见光激发光谱图椭偏仪可检查测量的膜料厚,我们对透明度膜检查测量的料厚少于led光通量1μm,不出现料厚频次性现象;可决定打样定制别的别的主要参数性能列如 膜很糙度、多层高层膜料厚等;多数据报告数据剖析带来检查测量按照,另一个比较好的剖析绘图肯定可代替与众不同可见光可见光激发光谱图的数据报告数据;我们对相当薄的膜(<20nm)多可见光可见光激发光谱图椭偏仪带来的数据报告数据数据量也可以与光谱图椭偏仪相类似。
应用案例:
原位測量:AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber
选配件:
1、整合选择:将供试品上的光柱降低至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm
2、整合束抽样检查按钮 3、全自动三维成像平台产品特点:
- 多光波波长
- 椭偏查重器中无移动式零部件
- 比较好的估测精密度较(不同于0.001nm)
- 可原位测量方法