SEM刻蚀子系统-上海昊量光电设备有限公司

品牌	其他品牌	价格区间	10万-30万
组件类别	其他	应用领域	综合

SEM高速公路刻蚀子软件系统

XENOS刻写子系统是一种允许设计图案数据并产生用于带电粒子束（例如用于半导体光刻应用或聚焦离子束系统的电子束）转向的相应偏转信号的系统。可以连接到传统的扫描电子显微镜、FIB或双光设备上，升级系统，在半导体或其他材料上进行纳米光刻。

极速刻写

可能实现了超过40MHz的的像素波特率。主要是因为应用了智能化注入，汉明距离，可能考虑的现阶段SEM的较少偏转带宽起步。优化网络的数据显示视频传输和相对稳定时间间隔计算方式与高注入，效率相搭配，以提供数据快速的注入，的一切优缺点。

智力且实用的格式文件

使用三阶多项式扫描逻辑，可以仅基于硬件以Max速度生成和写入这些多项式。因此，圆形、环形或椭球体可以由同心的单像素环书写，通常在曝光过程中不需要消隐。并且，可以用Min的数据开销和传输时间来实现理想的写入速度和近似质量。此外，与结构的多边形部分的光栅扫描相比，偏转信号的正弦形状消耗的偏转带宽要小得多。同时，写入算法对称地使用X轴和Y轴的带宽。

高灵活性

模块化系统可以进行配置，以满zu您的需求。逻辑配置和DSP内核可以在几分钟内更新，以提供新功能。

安装高，技术应用表面舒适

详尽的偏转卫星电磁波转为是在每轴16/32位的可代码编程逻辑性配件中确保的。比较是场矫正不操作资源带宽限制的乘法养成DAC，反而是大数字构造的，运转到Max输入车速，而在导致的偏转卫星电磁波中无任意失帧。操纵系统ECP对于Linux或Windows采用，CAD一些可在操作组中自由度采用。

SEM刻蚀子系统应用图例：

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SEM刻蚀子系统

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