Mprobe 20 薄膜测量系统（单点测量）-上海昊量光电设备有限公司

Mprobe 20 薄膜测量系统（单点测量）

概括描诉：Mprobe 20 薄膜测量系统（单点测量）是一款桌面式单点薄膜厚度测量系统，只需点击鼠标薄膜厚度和折射率测量，测量厚度范围1nm-1mm.

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生产厂商成分：代理商

更行期限：2021-08-14

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品牌	其他品牌	产地类别	进口
应用领域	环保,电子,航天	灵敏度	0.1-0.5 pT/√HZ

Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)

MProbe 20是一款桌面式单点薄膜厚度测量系统，只需点击鼠标薄膜厚度和折射率量测，测量厚度范围1nm-1mm，MProbe 20可对多层膜层进行测量。不同的MProbe 20配置主要由光谱仪的波长范围和分辨率来区分，这又决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。该测量技术基于光谱反射率，具有快速、可靠、无损等特点。在世界范围内有成千上万的应用。

Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)配置包括：

主单元(包括光谱仪、光源、光控制器、微处理器)
SH200A样品台，带对焦镜头，可微调
光导纤维反射探头
TFCompanion -RA软件、USB适配器(授权密钥)、USB记忆棒附带软件发行、用户指南等资料
根据型号和黑色吸收体的不同，校准装置(裸硅片和/或石英板和/或铝镜)
测试样品200nm的氧化硅或PET薄膜，视型号而定
USB或LAN线(用于连接主机和PC)
24VDC电源适配器(110/220V)

本质评价指标:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上测量100次)
精度:<1nm或0.2%(依赖于filmstack)
稳定性:< 0.02nm或0.2%(每天测量20天)
光斑大小:< 1毫米
样本尺寸:>= 10mm
参见下面小册子中MProbe 20薄膜厚度测量系统可用配置的详细规格

设计详细信息：

MProbe 20	激发光谱比率	厚薄规模
VIS	400nm -1100nm	10nm – 75 μm
UVVISSR	200nm -1100nm	1nm -75μm
VISHR	700nm-1700nm	1μm-400μm
NIR	900nm-1700nm	50nm – 85μm
UVVisF	200nm -800nm	1nm – 5μm
UVVISNIR	200nm-1700nm	1nm -75μm
NIRHR	200nm -1100nm	10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

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