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纳米级控制精度電動移动台。
纳米精度电动平移台。
马达的控住位移台也是指马达的控住旋转变换台都是种依赖于伺服马达马达的马达的win7的控制的完成装备,采用滚珠丝杆将伺服马达马达的马达的的角位移转型为APP位移。往往条件下该模式由三部曲好友分组成:位移台、马达的和控住器。win7的控制马达的及控住器具体所决定win7的控制最大扭矩、识别率、加减网络速度、手机信号进行处理等耐热性主要性能参数。位移台则是模式的核心,具体因素主要性能参数这位移高精准度、行程安排、阻抗、不稳判定性、适宜区域等。
佛山昊量光电材料生产设备较少公司的推广的自动旋转变换台传动链丝杆使用滚珠滚珠丝杠可达髙速平缓健身,*的丝杆茶叶品质使旋转变换台享用的分别率、定位软件系统准确度。使用较高分类交叠滚珠导轨,兼具较高的健身使用性能。该软件系统使用光栅尺前馈的控制,在保证 大旅行线路的时,分别率可达了1nm。依照规定市场定位精准度辩别,贵公司轴对称台可为 1nm高误差位移台、5nm要求和10奈米精准度位移台、亚纳米精准度位移台。
1)1nm高要求电气控制位移台。
该系列位移台可划分谐波传动齿轮5相步进马达马达能够和常规的5相直流电机的电机的四种型号的旋转变换台。使用光栅尺方位跟进反馈把握把握使其辩别率多达到1納米,反复产品定位可靠性强,精密度相当于到±2nm,可给出20mm、40mm和50mm多种各个的形成,并需要組裝成多维电机控制设备运功设备。
2)5nm可靠性强,精密度电气控制位移台
该系例类产品有的是款有着5纳米级确定调整精度的闭环调整调整轴对称台,可展示 20mm、40mm、和50mm八个有差异 的行程安排,是由于采取光栅尺区域商品代码闭环掌握意见反馈掌握,使其享有出众的分别率、追踪追踪定位精密度及相同追踪追踪定位精镀。
3)10nmgps精度电气控制位移台
该系例电机控制系统位移台是有了10nm辩别率的开环跟进品牌定位机系统。其通过电子光学平滑位址打码器,在出具大日程的并且,使机器享用较高的高精度。该系例评议台可出具20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等的不同行程英文的电机控制系统位移台。
4)亚微米换算判别率电控系统位移台
该产品系列位移服务平台包括辨别率达到到亚微米换算精确度的精密加工运转软件。该软件也是光学玻璃编号规则闭环设定设定,精确度达到到50-100nm,可展示20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等多种形成的电机控制系统位移台,并就能够利用使用需求成分二维电机控制系统直线运动台。
此外该系列平移台提供在真空条件下的同规格的电控平移台,可承受的真空度可达到10-4Pa,相当于10-6 torr的真空度。
主耍特性
- 100签别率
- 高抄袭市场定位精密度较
- 所采用滚珠滚珠丝杠,控制高表面粗糙度定位功能
- 选取层级交差滚珠导轨,含有超宽中长跑的性能
- 可具备抽真空体同金桥铜业跨接线的截面积大小的抽真空体游戏版本移动台
重点应运
超紧密激光器加工厂、超紧密三维图扫视测试、全重新计量检验检验仪器检验机器设备、轻工业重新化等领域。
主要性能参数:
尺寸 | 里程(mm) | 更大负(N) | 辩认率(nm) | 重覆固定精(nm) | 最大程度活动速度慢(mm/s) |
AU-FS-1020 SPX(MD) | 20 | 49 | 1 | ±2 | 0.4 |
AU-FS-1040 SPX(MD) | 40 | 49 | 1 | ±2 | 0.5 |
AU-FS-1050 SPX(MD) | 50 | 98 | 1 | ±2 | 0.5 |
AU-FS-1020UPX | 20 | 49 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1040UPX | 40 | 49 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1050UPX | 50 | 98 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1020 SPX | 20 | 49 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1040 SPX | 40 | 49 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1050 SPX | 50 | 98 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1020 PX | 20 | 49 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS - 1040 PX | 40 | 49 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS - 1050 PX | 50 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-1100 PX | 100 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-3150PX | 150 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-3200 PX | 200 | 196 | 10 | ±20 | 20 |
亚2um精确电控系统位移台参数设置:
款型 | 行程安排(mm) | 比较大电动机扭矩(N) | 甄别率(nm) | 多次重复产品定位的精密度(nm) | 最主要转移快速(mm/s) | ||
FC-411 | FC-111 | FC-411 | FC-111 | ||||
FS-1020X | 20 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1040X | 40 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1050X | 50 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1100X | 100 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-3150X | 150 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-3200X | 200 | 196 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |