纳米精度电动升降台-上海昊量光电设备有限公司

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纳米精度电动升降台

三相变频电动机操纵体统的位移台也叫做三相变频电动机操纵体统的移动台是种靠自己伺服三相变频电动机三相变频电动机操纵的履行装置设备，进行梯形丝杆将伺服三相变频电动机三相变频电动机的角位移转变成为游戏平台位移。一般来说情況下该体统的由3部分成小组成：位移台、三相变频电动机和操纵器。操纵三相变频电动机及操纵器最主要的直接决定操纵转距、辨认率、加减访问速度、电磁波处置等性能方面性能设置。位移台则是体统的的小心肝，最主要的指标体系性能设置某位移准确度、过程、电机负载、相对稳定量分析、可用于环境等。

伤害昊量光电子装置现有集团面市的电动三轮启闭台传送螺旋轴主要包括滚珠梯形丝杆体现极速平稳性锻炼，*的螺旋轴产品品质使平行台赋予的辩别率、定位手机导致精度。主要包括较高级别是交叉滚珠导轨+LM阻尼滑轨，在为了保证了调节功能台，兼有混凝土泵送的的运动性能指标。该设备选择光栅尺前馈操作，在为了保证大过程的时，分别率超过了10nm。可以依照定位功能表面粗糙度分，捷晨電動启闭台可涵盖 10奈米精确度位移台和亚廊坊可耐电器有限公司精确度位移台两类性质。

1）10nm精确度电气控制什降台

该系例电机控制系统位移台是得到10nm粪便率的前馈反馈机制的位置模式。能提拱沿径直路径的精密模具移動与的位置。其用于了磁学非线性的位置编码查询器，在提拱大日程的时，使设配存在较高的可靠性强，精密度。该物料用于了滚珠蜗杆推动和LM阻尼滑轨+重叠滚珠导轨结构优化，有效确保了升缩台的精确及平滑度。现阶段该產品具备5mm和10mm三种各个里程的自动控制位移台。

2）亚微米换算判定率自动控制什降台

该系列位移工作平台就是鉴别率相当于到亚毫米表面粗糙度的精密制造行动设计。该设计也是光学仪器简码开环抑制，表面粗糙度相当于到50-100nm，可具备5mm和10mm有所不同行程安排的电气控制位移台。

另外这二种板本号的举升台可带来了重力作用系统标准下安全使用的板本号，可不适用的的重力作用系统标准为10-4Pa，重力作用度约为10-6 Torr。

纳米精度电动升降台具体共同点
100分别率
高重新标记控制精度
应用滚珠滚珠丝杠，满足高精密度分析
按照高等教育级双向滚珠导轨，体现了高锻炼耐磨性

u 首要技术应用

超精密制造五金脉冲光工作、超精密制造五金二维扫描器在线测量、全自行计算仪器机器设备监测机器设备、工业品自行化等领域行业。

大部分因素：

亚毫米自动控制直线运动台基本参数：

主要参数	旅行线路（mm）	大额定负载(N)	签别率(nm)		连续市场定位表面粗糙度(nm)		大走动效率(mm/s)
主要参数	旅行线路（mm）	大额定负载(N)	FC-411	FC-111	FC-411	FC-111	大走动效率(mm/s)
AU-FS-1005Z	5	49	50	100	±100	±200	5
AU-FS-1010Z	10	49	50	100	±100	±200	5

纳米电控平移台参数：

型號	日程（mm）	大环境下(N)	辨别好坏率(nm)	多次重复准确定位计算精度(nm)	大手机进程(mm/s)
AU-FS-1005PZ	5	49	10	±20	5
AU-FS-1010PZ	10	49	10	±20	5

纳米精度电动升降台

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