供货周期 | 一周 |
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AU-XRT产品的题材表压阻自动扭动视频台都是款主体工程的高高精度的自动扭动视频机构。该产品的题材表自动扭动视频台利用滚柱轴承技木,使压阻自动扭动视频机构的径向、心轴和支持方朝上的自动扭动视频确定误差都是的小。这使的该产品的题材表自动扭动视频台作为市表面上上zui高精度地产品的。该产品的题材表旋轉变换台由滑块推动和超音波波启动马达有两种推动的方法,可通过接连自动扭动视频,对弯度非常制,同时集成为了光学元件标识号器闭环抑制抑制,使压阻自动扭动视频台开发*的辨认率和可重覆性。
成都昊量微电子仪器是有限的工司还推出的压阻选转台通过用到起动电机的与众不同还可以主要包括俩种类型。
1)应用mri波启动马达能够的高速旋转台,AU-XRT-U款型。
AU-XRT-U系类是由超音波波压阻无刷三相电机的控制的主体工程而准确度的电动机台。其与氧气滑动轴承电动机台获得相与之媲美的电动机精确度和测量误差虽然却获得更小的体积大概和更价廉的价格。与别的压阻技术工艺相对比超音波波压阻三相电机获得更长的运行质保期、更低的耗电还有无环境噪声。还有集为光学反应编码查询器前馈的控制,精确度zui高能够提高到0.0002°,加速度zui大能够提高到1080°/s。该系类用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40两种电动机台。
Fig1 的运动量测误差量测
Fig2 AU-XRT-U
2)滑块式光电探测器电动机推动旋轉台AU-XRT-A.
AU-XRT-A按照滑块式压阻电动马达动力,使用滚柱联轴器高技术,但是在补充器工作中也是可主动性将径向数据确定误差运作补充,这致使其成了市场中上*的zui为准确的压阻补充器台,AU-XRT-A的径向数据确定误差超过500nm,是可与热空气滚柱联轴器可靠性强,精密度相与之媲美,与此同时面积紧密价位廉价,与此同时是可打造负压和吸引力用途的物料。
Fig3. 运转确定误差测试
Fig4.AU-XRT-A自动旋转台
注意优势特点
l 高精确(200μ°)
l 高速的度(1080°/s)
l 可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用
最主要采用
l 超小型CT扫一扫仪
l X放射线衍射系统软件
l 光透射电镜观察
l 搜集加速度器
l 计量检定学
厂品指标:
AU-XRT-U30 | AU-XRT-U40 | AU-XRT-A | |
Drive principle: | ultrasonic piezo motor | stick-slip | |
Radial error motion: | < 5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB) | down to 500 nm | |
Axial error motion: | < 3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB) | < 1 µm | |
Tilt (wobble): | < 50 µrad (-PB) | < 100 µrad | |
Load capacity: | < 1 kg | ≤ 1 N (100 g) | |
Aperture: | 7mm | 10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor | |
Driving torque: | 14 Nmm | 20 Nmm | |
Holding torque: | 7 Nmm | 10 Nmm | |
Speed: | from 8 m°/s up to 3 rev/s | ± 2 rpm | |
Resolution: | 6.25 m° (-S) | 6.25 m° (-S) or 200 µ° (-P) | 6.25 m° (-S) |