成都昊量微电子环保装备有局限平台自2023-5年4月1日官方变成Microlight3D平台SMART PRINT UV系列表DMD无掩光刻软件系统的国区独有微商供应商,我院赚取Microlight3D的许可,凸显了Microlight3D对成都昊量微电子环保装备有局限平台茶叶市场卖的行业度及售服技能不支持勇气的相对高度认为。企业将如一自始的为目前中国满足广大用户数具备最为优异的服务性。
Microlight3D成为于2020年,在格勒诺布尔阿尔卑斯大专(Université Grenoble Alpes,UGA)展开了超过6年的3D袖珍型word打印枝术技术创新。格勒诺布尔阿尔卑斯大专使用于1339年,就是所有近七多年过去的国立融合分析型大专,是欧式最最原始的大专中的一个,教学过程科学潜力发生使用了德国的高端、世 界过硬级别。作具社会后果力的使用了德国的公力大专,格勒诺布尔-阿尔卑斯大专最先创立过3位诺贝尔奖得到了者(克劳斯·冯·克利青、路易·奈尔、热拉尔·穆鲁),1位图灵奖得到了者(约瑟夫·斯发基斯)。 Microlight3D我司始终在迅速發展,致力于Smart Print UV System在各县市区的實驗室和公办民办调查咨询中心的大批营销。 Microlight3D公司的推新的DMD无掩模光刻软件系统Smart Print UV系类,是种对于DMD投影屏幕的技术的无掩模光刻机械设备,可兼容多种多样抗蚀剂和基面材料。Smart Print UV要有在纳米分辩率下制造什么2D图型,而不要有硬掩模。Smart PrintUV控制系统特殊性:
♦ 较小本质特征长宽高1.5um
♦ 可撤换阶段目标的调节器节拷贝板块和辨别率
♦ 兼容CAD信息及bitmap文书
♦ 兼容SU-8、g线、h 线、i 线等乃至一般来说光刻胶
♦ 兼容多样基面材料(硅、窗户玻璃、柔性板贴膜、不锈钢、pp塑料等)
♦ 兼容三种备样寸尺:2''和4''晶圆、4''和5''四方形或 定制化更广尺寸大小、高倍显微镜梯形载玻片、14mm和25mm扇形载玻片
♦ 反应单反:凝焦,居中,准直
♦ 手工平移台:360°可高速旋转,gps精度 0.1°
♦ 桌面图标型,占地面面积小
♦ 拍摄流速比起相近型设备迅速!
♦ ji具价廉物美!
♦ APP实操和机器设备维持单纯!
♦ 供货寿命短!
♦ 可全免打样!
Smart PrintUV效果选件:
♦ 1X Objective 磁吸高效变更鏡头
10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution
♦ 5X Objective 磁吸迅猛根换光圈
2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution
♦ 10X Objective 磁吸迅猛更新摄像镜头
1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution
♦ 4" 晶圆样品英文三角架
♦ 磨砂玻璃载玻片图纸吊架
♦ 大多数功能新型样品英文电气支架
兼容4" & 5" 方形的的基板, 2" & 4" 晶圆, 体视显微镜载玻片, 14 mm & 25 mm 椭圆形载玻片
♦ 自定义化图纸之架
跟据业主耍求,可应用越大样品英文尺码或多备样;兼容柔性板膜材肌底(New!)
♦ 返修期延迟
仪器质保期2年,应用勉费版本升级2年
Smart PrintUV价值体系的规格:
型號 | SP-UV.Standard | SP-UV.Advanced |
泛光灯 | 曝光度吸光度:385nm;校对光波长:590nm | |
世界最大功能大小 | 1.5um | |
对准准度(1cm2地区) | 2um | 1um |
无缝拼接定位精度 | 2um | <1um |
较大 曝料范围内 | 70×70mm2 | 110×110mm2 |
基板外形尺寸 | 4屏幕尺寸(wafer) | 54英寸(棱形) |
读入进程 | 77mm2/min | 220mm2/min |
体系的尺寸 | 长×宽×高:52(cm)×52(cm)×69(cm) |
软件下载包:
我的电脑 | Windows 10Pro, 24inch霸屏 |
SFTprintapp | 电脑调整、步进电机控制重覆、自功标准容量测试图片、安装、位置合适 |
SFT更换器 | 将条件CAD论文格式(gdsii、dxf、cif、oas)转成为机械形式;收录CAD免费软件 |
相机选择:
物镜 | 1X | 2.5X | 5X | 10X |
刻录区域划分(mm) | 10.56×5.94 | 4.2×2.4 | 2.1×1.2 | 1.06×0.59 |
是较为小的线宽(um) | 15 | 6 | 3 | 1.5 |
Smart PrintUV应用软件方面:
Smart Print UV是为还要开发外壁微图纹、微设计的任何人用途研究方向的wan美装修设计,如MEMS,微气体,二维资料,自旋智能学,生物工程技术工艺和光电子元器件等。
Microlight3D工司还在另一件女星车辆-双电子束聚合物3Dnm光刻机。
2007年,独那代双光量子配位聚合3Dnm光刻机microFAB-3D研制成功,在全球国内、全球新加坡和非洲地域产生大量的卖。
2018年,我司可以获得了使用了法国的论述与创新性部发证的公众论述方面最 ju技术竞争力年青公司的奖。
2019年,面世了最代紧奏型型桌面图标式双激光聚合反应3D纳米技术光刻机。
2019年,Microlight3D完quan高价回收了无掩模光刻系统的制造厂商SmartForceTechnologies。
中国未来,济南昊量光电子机 有限责任责任有限公司将换取Microlight3D其他的教育资源帮助,昊量微电子也将重新靠谱专注互惠互惠的趋势管理理念,积极主动激发个人强的靠谱技術有效的沟通和服务的胜机,努力实现为国內MEMS,微气体,二维材料,自旋电子厂元器件学,动物高技术和光电材料厂元器件等应用的区域的科学和推广营销供献这份潜能,充分考虑并不停掌控企业的概率,着力推进于为我国国内前沿性的科学与化工的区域给予一流的护肤品与功能,四轮驱动华人人智创与华人人创造自己。
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