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新一代智能UV打印系统——DMD无掩模光刻机

更新时间:2021-11-19 点击次数:1423

Microlight3D有的是家工作使用工业化的和有效应该用的100粪便率微似然法2D和3D缩印软件体系软件的的专业制作商。自动化UV缩印(SP-UV)软件体系软件,是该集团创新产品设备。这有的是种搭配两个385 nm的紫外光LED灯源,依托于DMD(Digital Micromirror Device)的全新的无掩模光刻软件体系软件,那么SP-UV也可以兼容每个要求的微网络光刻胶,涵盖微流体力学应该用中*的i-line光阻剂SU-8。这一项结构特征为半导体设备加工处理教育领域的建设人,在光刻胶村料的考虑上出具了比较辽阔的余地。

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DMD无掩膜光刻机SP-UV的长处的一个是对DMD电子光学高清投影方法的应运。这种方法在增进直写gps精度和速度快的另外,出示了两种多种的直写甄别率。配Microlight3D的“快捷添加"物镜控制系统,仅需2秒就能结束甄别率添加。

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Microlight3D进行官Denis Barbier表达:“Microlight3D的SP-UV工艺可能与更多光刻胶产品相兼容。在为无掩模光刻的技术应用发展壮大了新的范畴的时候,具备了设计人士对多功效性和可额外负担性的需要。"“企业使智能家居控制块实验所室和其他的范畴(光電子学、MEMS、自旋光电子学)的科学研究人士可能更如此容易、更迅速速地在大外层积上(120x120 mm²),工艺微米换算判定率的简化组成部分。是由于该系统智能家居控制度如此高,使各种各样微信用户都能能无思维障碍的施用,企业也故而也希望SP-UV在微气流及各大范畴中的小自定义种植上发展壮大新的市面时机。"


屏幕截图 2021-11-19 102625.jpg


无掩膜光刻机SP-UV的另外大优劣势是符合精心谋划分辨的物镜光圈范围图,以允许的较长本职工作上间隔感(多达3公分)。这暗示着着SP-UV是可以用做非标设备准肌底,其中包括有些拉伸(例如电子光学光学镜片)、柔软或许偏薄的。而竞争对手舱位的本职工作上间隔感一般性较短,在操作非陡峭肌底时很难关。

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无掩膜光刻机SP-UV的385nm红外光谱线照明配带这个反应照相机,使聚交更特别容易,并一起在审核和复位。是种新的高清投影技艺,385nm的LED线照明与高功率指标智能位移台相融入,使联合开发专业人员够在毫米分别率的水平面上 来高速微架构造成。

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该装置搭配的高健康安全性能電動位移台,挺高了准高精度的此外,也减小了剪切差值。生产设备核心内容禁封装在更具紫外光线保障的包装机的空间区域内,使其能否在一般来说情况下健康安全应用。


无掩膜光刻机SP-UV都可以到到目前为止直写效率会员等级(更是高达1000mm²/min);当鉴别率是6μm时,其效率是一些高端牌子一样的厂品的两倍,而当鉴别率是15μm时,其效率多达一些高端牌子一样的厂品的10倍。


对於产量商:

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Microlight3D是低分别率 微尺幅 2D和三d打印文件纸体统的专业性打造商。Microlight3D秉承于拥有学科家和化工业探讨员工新的设计的工艺需求分析,、高计算精度种植随便立体几何体同或立体几何体图形的微形零配件。依据紧密联系2D和3D微纳打印文件纸技木,Microlight3D为玩家保证了打造更具尺寸规格更复杂的构件的机灵性。它的要求是为未来十年的成长教育领域保证快些、更更复杂的的微形打造体统。Microlight3D的的设备使用于微光电器件、微气流、微刷卡机人、超的材料、细胞系微植物学和微光电子学等。Microlight3D在2020年申请加入于英国格勒诺布尔,在Grenoble Alpes大家(UGA)开展了以上09年的3D微纳打印纸技艺研发项目管理。


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