液晶空间光调制器常用的校准测量方式

显示屏的空间光幅度调制器选用的标定精确测量方式方法

各不相同的LCOS空间英文调试的空间各不相同，往往在选择先前，必须要对每家LCOS都通过调试使用性能的校正。最主要的测量方式技术方式技术有工率计探测器法、马赫—曾德干扰方式技术、径向裁取干扰方式技术、泰曼格林干扰方式技术、双孔干扰方式技术等。底下容易介紹几个。

工作效率计可以遥测法

图1

额定工作电压计就直接测探法的原理图图下图1提示，激光器经准直扩束后直接直接照射在非偏振分束片上，这当中散发出光经LCOS熬制后光散射面，光散射面光经光散射面镜光散射面后充当参照光，与待测的 LCOS熬制后的光发生涉及后被额定工作电压计接受，备案光强的改变。检测策略十分的简便，所以在直接直接照射光不只是要严格的形成平行线光，涉及后的光强较难保持wan全竖直，引致衡量报告精确度较低，并且能够获取的相位熬制性能报告为大部分LCOS教学液晶显示器层漆层层的峰值报告，未能顺利通过该策略能够获取教学液晶显示器层相应漆层层的熬制报告。

马赫-曾德打搅技巧 

图2

马赫-曾德约束步骤原则图如图已知2图示。激光器所经第一点个BS后将光对半分四公里，三路光由折射镜折射到第二点个BS，另三路光反射光lcd屏拼接屏的三维环境光幅度配制器再次发生幅度配制后，与参照光约束。达到的约束纹路的对比转移量既为lcd屏拼接屏的三维环境光幅度配制器的相位幅度配制量。马赫-曾德约束仪按照求算约束图的对比转移来达到lcd屏拼接屏的三维环境光幅度配制器的相位幅度配制状况。马赫-曾德约束应于约束原则参与自动预估，并且由系统须要的参照光为要严格的水平波，对实验操作系统的相对稳明确需要较高，然而该步骤可于自动预估电子散射式lcd屏拼接屏的三维环境光幅度配制器。

径向截取干涉仪方法步骤

径向截取打搅的办法运作的内部结构图如图3如图，该的办法凭借对教学液晶显示空間光配制器配制后的波面与实际上脱位后增加和缩小许多的波面造成打搅花纹，凭借迭代更新算法流程图进行分析能够 打搅花纹，以能够 教学液晶显示空間光配制器的相位配制特征。

图3

在切剪打搅环路中，将放小的波面看做基准光，尽量不要了构建额外的基准光随带来的出现偏差的原因，保持着了机系统的固明确，具备较高的精确。在纪录打搅纹路的时中， 面对整体波面实现纪录，只需要画一幅画打搅图即刻。但缺欠是若放小的波面失真很大时，将始终无法 被称为单面波，打搅纹路将相对来说很复杂，危害于随后的试验最终结果操作。

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大部分用以分析方法和调节像差的法求都鉴于Zernike多选式。显然，对圆型孔经的依靠不采用以文章的话正方体形或多边形阵列的像差。芬兰Meadowlark Optics集团以及激发了鉴于SLM的约束子孔经的用作计划方案，以加强组织领导SLM的有效果通光区域划分上的像差行被调节到λ/ 40或好。相应图图甲中， 调节后的MLO空间光调制解调器波前像差（波前崎变）变得越来越很低。

a）最初的1920 x 1200分辩率SLM波前（λ/ 7 RMS）（b）用了像差调节的波前（λ/ 20 RMS）（c）未用途校核的像差球面图。（d）用途校核后的像差球面图。

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